GaN薄膜的ECR等离子体辅助MOCVD生长及特性研究，关于GaN薄膜的ECR等离子体辅助MOCVD生长及特性研究简述

来源：湘潭网编辑：君子莲 2022-09-04

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1、《GaN薄膜的ECR等离子体辅助MOCVD生长及特性研究》是依托大连理工大学,由徐茵担任项目负责人的面上项目。