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资料来看，这78台光刻机是90纳米级别，光刻机的等级基本是按纳米精度分等级的，某种程度上是以22纳米以下为高端光刻机，22-45纳米为中端光刻机，45纳米以上为低端光刻机。因此这78台光刻机并不算好，在国际上属于低端制程光刻机。
芯片照片而数据表示，能够生产光刻机的国家有荷兰、中国、日本、美国、韩国，相对于其他国家来说，目前的荷兰光刻机的精度为首。如今我国也在研发更加精细的光刻机。
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