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据悉，光刻机是法国人Nicephore niepce（尼埃普斯）发明的，起初是Nicephore niepce发现了一种能够刻在油纸上的印痕，当其出现在了玻璃片上后，经过一段时间的暴晒，透光的部分就会变得很硬，但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。
光刻机光刻机是一个制造芯片的机器，芯片上的图形模板（微电路）需要用机器来雕刻。关于售价，ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink10月14日介绍公司三季度业绩情况时间接给出了答案。他表示，“我们第三季度的新增订单达到29亿欧元，其中95亿欧元来自4台EUV设备。”简单换算一下，一台EUV光刻机的售价为48亿欧元，折合人民币高达174亿元。
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